Please use this identifier to cite or link to this item: http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/11118
Title: ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์
Other Titles: Effects of silicon powder size on the processing of reaction-bonded silicon nitride (RBSN) and oxidation of RBSN
Authors: กิตติมา ศิลปษา
Advisors: ไสว ด่านชัยวิจิตร
กุลจิรา สุจิโรจน์
Other author: จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิศวกรรมศาสตร์
Advisor's Email: Sawai.D@Chula.ac.th
ไม่มีข้อมูล
Subjects: ซิลิกอนไนไตรด์ -- การขึ้นรูป
Issue Date: 2545
Publisher: จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย
Abstract: วิทยานิพนธ์ฉบับนี้ เป็นการศึกษาผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ และการเกิดออกซิเดชันของรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ โดยในส่วนแรกถูกตรวจสอบด้วยการใช้ผงซิลิคอนสามขนาดซึ่งมีขนาดเฉลี่ย 3, 6 และ 12 ไมโครเมตร อัดขึ้นรูปด้วยแรงแบบแนวเดียวที่ 72 MPa แล้วทำการอัดขึ้นรูปด้วยแรงแบบทุกทิศทางที่ 300 MPa จากนั้นเผาผนึกขึ้นต้นที่อุณหภูมิ 1200 YC ในบรรยากาศอาร์กอนเป็นเวลา 3 ชั่วโมง และทำการไนไตรเดชันที่อุณหภูมิ 1500 ํC ในบรรยากาศไนโตรเจนเป็นเวลา 3 ชั่วโมง ตรวจสอบสมบัติทางกายภาพและสมบัติทางกล จากผลการทดลองพบว่าเมื่อขนาดของผงซิลิคอนเล็กลงสมบัติต่างๆ ทั้งความหนาแน่น, โมดูลัสของยัง, ความแข็ง และความแข็งแรงต่อการดัดจะมีค่าเพิ่มขึ้น ในส่วนที่สองทำการศึกษาการเกิดออกซิเดชันโดยเผาชิ้นงานรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ในบรรยากาศ ที่อุณหภูมิ 700, 800, 900 และ 1000 ํC เป็นเวลา 20 ชั่วโมง หาค่าพลังงานกระตุ้นและตรวจสอบโครงสร้างจุลภาค จากผลจากทดลองพบว่าการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิระหว่าง 700-1000 ํC มีค่าพลังงานกระตุ้นที่จะเกิดซิลิกาเป็น 209 kJ/mol (50 kcal/mol)
Other Abstract: The objectives of this thesis were to study the effects of silicon powder size on the processing of reaction-bonded silicon nitride (RBSN) and oxidation of RBSN. The first part was investigated by using three silicon powders of 3, 6 and 12 micrometre in average size. The procedure for processing of RBSN body was as follows: compacting the silicon powder with uniaxial press at 72 MPa and then cold isostatic press (CIP) at 300 MPa; pre-sintering the green compact at 1200 ํC in argon atmosphere for 3 hrs; then nitriding the preform body at 1500 ํC in nitrogen atmosphere for 3 hrs. The physical and mechanical properties were measured. From the results, bulk density, hardness, young's modulus and flexural strength are increased with decreasing the silicon powder size. For the second part the oxidation of RBSN was investigated at 700 ํC, 800 ํC, 900 ํC and 1000 ํC in air atmosphere for 20 hrs. The activation energy was calculated and microstructure was observed. In the range of 700-1000 ํC, SiO[subscript 2] was formed with activation energy of 209 kJ/mol (50 kcal/mol).
Description: วิทยานิพนธ์ (วศ.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2545
Degree Name: วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต
Degree Level: ปริญญาโท
Degree Discipline: วิศวกรรมโลหการ
URI: http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/11118
ISBN: 9741717563
Type: Thesis
Appears in Collections:Eng - Theses

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
kittima.pdf5.23 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.