Please use this identifier to cite or link to this item:
https://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/1530
| Title: | การพัฒนาระบบควบคุมลำอิเล็กตรอนเพื่อการสร้างภาพจากสัญญาณอิเล็กตรอนทุติยภูมิ |
| Other Titles: | Development of an electron beam control system for secondary electron signal imaging |
| Authors: | อำไพ อติโรจน์ปัญญา, 2519- |
| Advisors: | สุวิทย์ ปุณณชัยยะ เดโช ทองอร่าม |
| Other author: | จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิศวกรรมศาสตร์ |
| Advisor's Email: | Suvit.P@Chula.ac.th Decho.T@Chula.ac.th |
| Subjects: | กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกน ระบบการสร้างภาพ ลำอิเล็กตรอน |
| Issue Date: | 2547 |
| Publisher: | จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย |
| Abstract: | วิทยานิพนธ์นี้วัตถุประสงค์เพื่อพัฒนาระบบควบคุมลำอิเล็กตรอนและระบบสร้างภาพจากสัญญาณอิเล็กตรอนทุติยภูมิ สำหรับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกน เพื่อปรับการทำงานของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนรุ่น T20 ของบริษัท JEOL ในโหมดโทรทัศน์ดั้งเดิมมาเป็นการสร้างภาพบนจอไมโครคอมพิวเตอร์ งานวิจัยนี้เลือกใช้ไมโครคอนโทรลเลอร์ PIC16F84A สำหรับกำเนิดสัญญาณควบคุมการสแกนลำอิเลกตรอน ให้มีอัตราสแกนตามมาตรฐานระบบโทรทัศน์ 625 เส้น พร้อมทั้งพัฒนาหัววัดสัญญาณอิเล็กตรอนทุติยภูมิแบบเอเวอร์ฮาร์ท ทอร์นเลย์ (Everhart-Thornley) เพื่อกำเนิดสัญญาณภาพและนำไปมองดูเลต (Modulate) กับสัญญาณเจ้าจังหวะในการสร้างสัญญาณภาพคอมโพสิต (Composite video) ส่งผ่านแผ่นวงจรจับสัญญาณภาพ (Video capture card) เข้าสู่ไมโครคอมพิวเตอร์ ผลทดสอบการทำงานของระบบพบว่า สามารถควบคุมการสแกนของลำอิเล็กตรอนบนพื้นผิวตัวอย่าง แสดงภาพจุลทรรศน์อิเล็กตรอนบนจอภาพด้วยความละเอียด 320x240 จุดภาพ โดยความไม่เป็นเชิงเส้นของภาพในแนวแกนนอนและแกนตั้งน้อยกว่า 16.13% และ 21.05% ตามลำดับ ภาพจุลทรรศน์อิเล็กตรอนจากสัญญาณอิเล็กตรอนทุติยภูมิให้ความคมชัดและความเปรียบต่างภาพทัดเทียมระบบแสดงผลเดิม แต่ยังมีสัญญาณรบกวนในสัญญาณภาพเล็กน้อย อย่างไรก็ตามสามารถใช้เทคนิคการปรับปรุงคุณภาพของสัญญาณภาพเสริมความชัดเจนของภาพได้ |
| Other Abstract: | This thesis aimed to develop an electron beam control system and a secondary electron signal imaging system for scanning electron microscope. The systems were applied for upgrading a conventional TV mode of JEOL SEM model T20 to the microcomputer TV-system. The PIC16F84A microcontroller was employed for scanning signal generation at 625 lines standard TV scan rate. The Everhart-Thornley secondary electron detector was also developed to generate a video signal and modulated with synchronized signals to form a composite video signal. The secondary electron image signal was sent to display on a microcomputer monitor via a video capture card. The image resolution of 320x240 pixels was displayed for electron beam scan testing on specimen surface. The image quality of both nonlinear horizontal and vertical scanning were less than 16.13% and 21.05% respectively. The sharpness and the contrast of secondary electron images were compatible to the old version but they have little interference noise in the video signal. However, by using an image processing technique can be improved the image quality of this system. |
| Description: | วิทยานิพนธ์ (วศ.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2547 |
| Degree Name: | วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต |
| Degree Level: | ปริญญาโท |
| Degree Discipline: | นิวเคลียร์เทคโนโลยี |
| URI: | http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/1530 |
| ISBN: | 9745311278 |
| Type: | Thesis |
| Appears in Collections: | Eng - Theses |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.