Please use this identifier to cite or link to this item:
https://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/18112
| Title: | การสร้างเลเซอร์คาร์บอนไดออกไซด์ และการประยุกต์ใช้งานในการแอนนีลซิลิกอน |
| Other Titles: | CO2 laser construction and its application in silicon annealing |
| Authors: | ธานี แดงพวงไพบูลย์ |
| Advisors: | สมศักดิ์ ปัญญาแก้ว |
| Other author: | จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. บัณฑิตวิทยาลัย |
| Issue Date: | 2526 |
| Publisher: | จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย |
| Abstract: | วิทยานิพนธ์นี้ประกอบด้วย 2 ส่วน ส่วนแรกได้แก่การสร้างเลเซอร์คาร์บอนไดออกไซด์ เลเซอร์นี้สามารถใช้งานได้ทั้งแบบคลื่นต่อเนื่อง และแบบคิว-สวิทซ์ ซึ่งมีกำลังเอาท์พุท 10 วัตต์ และ 1 กิโลวัตต์ ตามลำดับ ส่วนที่สองได้แก่การนำแสงเลเซอร์ทั้งแบบคลื่นต่อเนื่อง และแบบคิว-สวิทซ์ ไปแอนนีลหัวต่อพี-เอ็น ที่สร้างบนแผ่นซิลิกอน ผลการทดลองพบว่า การแอนนีลด้วยแสงเลเซอร์แบบคิว-สวิทซ์ พลังงานขนาด 2.0-8.0 จูล/ตารางเซนติเมตร ไม่สามารถทำให้การกระจายตัวของอะตอมฟอสฟอรัสที่แพร่ซึมเปลี่ยนแปลงไป แต่สำหรับหัวต่อพี-เอ็น ที่ทำขั้วต่อไฟฟ้าด้วยนิเกิล ความต้านทานอนุกรมจะมีค่าน้อยลงเมื่อแอนนีลด้วยแสงเลเซอร?พลังงานประมาณ 3.0 จูล/ตารางเซนติเมตร และความต้านทานอนุกรมนี้จะลดลงจนมีค่าอิ่มตัวเมื่อแสงเลเซอร์มีพลังงานประมาณ 7.0 จูล/ตารางเซนติเมตร |
| Other Abstract: | This thesis consists of two parts. The first part was the construction of Co2 laser. This laser could be operated both in CW and Q-switch modes with power outputs of 10 watt and 1 kilowatt respectively. The second part was the application of laser with CW and Q-switch modes in the annealing process of silicon P-N junction. The experimental results showed that the annealing of Q-switch laser with energy between 2.0 to 8.0 joule/cm2 could not change the impurity profile of phosphorus, but the P-N junction with nickel contact would have less series resistance at 3.0 joule/ cm2 and this series resistance become saturated at 7.0 joule/ cm2. |
| Description: | วิทยานิพนธ์ (วศ.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2526 |
| Degree Name: | วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต |
| Degree Level: | ปริญญาโท |
| Degree Discipline: | วิศวกรรมไฟฟ้า |
| URI: | http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/18112 |
| ISBN: | 9745622753 |
| Type: | Thesis |
| Appears in Collections: | Grad - Theses |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Thanee_Da_front.pdf | 344.02 kB | Adobe PDF | View/Open | |
| Thanee_Da_ch1.pdf | 223.59 kB | Adobe PDF | View/Open | |
| Thanee_Da_ch2.pdf | 541.95 kB | Adobe PDF | View/Open | |
| Thanee_Da_ch3.pdf | 434.89 kB | Adobe PDF | View/Open | |
| Thanee_Da_ch4.pdf | 707.02 kB | Adobe PDF | View/Open | |
| Thanee_Da_ch5.pdf | 235.54 kB | Adobe PDF | View/Open | |
| Thanee_Da_Back.pdf | 438.26 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.