Please use this identifier to cite or link to this item: https://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/29976
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorภิยโย ปันยารชุน
dc.contributor.authorไพรัตน์ ธรรมแสง
dc.contributor.otherจุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. บัณฑิตวิทยาลัย
dc.date.accessioned2013-03-18T08:41:12Z
dc.date.available2013-03-18T08:41:12Z
dc.date.issued2533
dc.identifier.isbn9745773832
dc.identifier.urihttp://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/29976
dc.descriptionวิทยานิพนธ์ (วท.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2533en
dc.description.abstractได้ทำการวัดความหนาของฟิล์มบางโดยใช้วิธีการแทรกสอดของแสง แสงที่นำมาใช้คือแสง เลเซอร์ฮีเลียมนีออน ซึ่งเป็นแสงเอกรงค์ที่มีความเข้มสูง ในการทำการวัดได้สร้างเครื่องมือวัดความหนาของฟิล์มบาง เครื่องมือนี้จะสามารถสังเกตรั้วของการแทรกสอดของแสง และสามารถวัดระยะระหว่าง ริ้วของแถบมืด (ρ) และระยะของริ้วของแถบมืดที่เปลี่ยนไปจากแนวเดิม (Δρ) จากนั้นสามารถคำนวณหาความหนาของฟิล์มบาง (Δh) และทำการตรวจสอบผลการวัดโดยวิธีการวัดการดูดกลืนของแสง โดยใช้โฟโตทรานซิสเตอร์เป็นตัวตรวจวัด เพื่อหาความสัมพันธ์ระหว่างความหนา h ที่ได้จากวิธีการวัดจากการแทรกสอดกับ In(I/I๐) ซึ่งได้จากการวัดการดูดกลืนของแสง การวิเคราะห์จากกราฟความสัมพันธ์ระหว่างความหนา Δh และ กับ กับ In(I/I๐) มีลักษณะเป็น เส้นตรงซึ่งสอดคล้องกับทฤษฎีการดูดกลืนแสงของฟิล์มบาง แสดงว่าเครื่องมือวัดความหนาของฟิล์มบางโดยใช้ แสงเลเซอร์สีเลียมนีออน สามารถนำไปใช้ในการวัดได้จริง
dc.description.abstractalternativeThickness measurement of thin films using the method of light multiple beam interference has been investigated. A monochromatic and intense beam from a He-Ne laser was the source of light. Thin film thickness meter was constructed to observe and measure the distance between consecutive fringes (ρ) and fringe shifts (Δρ) from which the thickness of thin films could be evaluated. The results of the measurements were compared to those from the method of light absorption using a phototransistor as a detector The analysis of the relation between measured thickness (Δh) and In(I/I๐) indicates linearity, showing the applicability of a He-Ne laser as a tool for thickness measurements of thin films.
dc.format.extent3924175 bytes
dc.format.extent2619792 bytes
dc.format.extent11273308 bytes
dc.format.extent2717823 bytes
dc.format.extent3151956 bytes
dc.format.extent2547773 bytes
dc.format.extent1066486 bytes
dc.format.extent974595 bytes
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isothes
dc.publisherจุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัยen
dc.rightsจุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัยen
dc.titleการวัดความหนาของฟิล์มบาง โดยใช้แสงเลเซอร์ฮีเลียมนีออนen
dc.title.alternativeThickness measurement of thin film by a he-ne laseren
dc.typeThesises
dc.degree.nameวิทยาศาสตรมหาบัณฑิตes
dc.degree.levelปริญญาโทes
dc.degree.disciplineฟิสิกส์es
dc.degree.grantorจุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัยen
Appears in Collections:Grad - Theses

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pairat_tam_front.pdf3.83 MBAdobe PDFView/Open
Pairat_tam_ch1.pdf2.56 MBAdobe PDFView/Open
Pairat_tam_ch2.pdf11.01 MBAdobe PDFView/Open
Pairat_tam_ch3.pdf2.65 MBAdobe PDFView/Open
Pairat_tam_ch4.pdf3.08 MBAdobe PDFView/Open
Pairat_tam_ch5.pdf2.49 MBAdobe PDFView/Open
Pairat_tam_ch6.pdf1.04 MBAdobe PDFView/Open
Pairat_tam_back.pdf951.75 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.