การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ

สุจิรา พรหมนิมิตร

Please use this identifier to cite or link to this item: https://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/5730

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	บุญโชติ เผ่าสวัสดิ์ยรรยง	-
dc.contributor.advisor	กิรณันต์ รัตนธรรมพันธ์	-
dc.contributor.author	สุจิรา พรหมนิมิตร	-
dc.contributor.other	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิทยาศาสตร์	-
dc.date.accessioned	2008-02-01T04:08:37Z	-
dc.date.available	2008-02-01T04:08:37Z	-
dc.date.issued	2546	-
dc.identifier.isbn	9741737262	-
dc.identifier.uri	http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/5730	-
dc.description	วิทยานิพนธ์ (วท.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2546	en
dc.description.abstract	งานวิจัยนี้ได้ทำการพัฒนาระบบการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ (RF-PECVD) ควบผ่านขดลวดเหนี่ยวนำระนาบ โดยใช้เครื่องกำเนิดความถี่วิทยุที่ 13.56 MHz เป็นต้นกำลัง ก๊าซผสมระหว่างก๊าซไฮโดรเจน และก๊าซมีเทนถูกส่งเข้าสู่ระบบเพื่อเป็นตัวกลางพลาสมา เพื่อใช้ในการเคลือบฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรบนแผ่นรองรับ ได้แก่ อะลูมิเนียม และกระจกสไลด์ เมื่อกระบวนการสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรเสร็จสิ้น ฟิล์มที่ได้นำไปวิเคราะห์ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกวาดและการวิเคราะห์โครงสร้างของฟิล์มด้วยวิธีรามานสเปกโทรสโกปี	en
dc.description.abstractalternative	In this research, a planar coil inductively coupled radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (RF-PECVD) system is developed. A 13.56 MHz. RF generator is utilized as a power source of the system. The mixture of Hydrogen and Methane is used in the system as plasma media. Diamond-like carbon (DLC) thin films are deposited onto aluminum and glass slide substrates under various growth conditions. The DLC thin films are analyzed by Scanning Electron Microscopy (SEM) and Raman Spectroscopy.	en
dc.format.extent	1321888 bytes	-
dc.format.mimetype	application/pdf	-
dc.language.iso	th	es
dc.publisher	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย	en
dc.rights	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย	en
dc.subject	ฟิล์มบาง	en
dc.subject	พลาสมา	en
dc.subject	กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกน	en
dc.subject	รามานสเปกโทรสโกปี	en
dc.title	การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ	en
dc.title.alternative	Synthesis of diamond-like carbon thin film by radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition technique	en
dc.type	Thesis	es
dc.degree.name	วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต	es
dc.degree.level	ปริญญาโท	es
dc.degree.discipline	ฟิสิกส์	es
dc.degree.grantor	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย	en
dc.email.advisor	paosawat@sc.chula.ac.th	-
dc.email.advisor	Kiranant.R@Chula.ac.th, kiranant@hotmail.com	-
Appears in Collections:	Sci - Theses

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Sujira.pdf		1.29 MB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record