Please use this identifier to cite or link to this item:
https://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/5730
| Title: | การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ |
| Other Titles: | Synthesis of diamond-like carbon thin film by radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition technique |
| Authors: | สุจิรา พรหมนิมิตร |
| Advisors: | บุญโชติ เผ่าสวัสดิ์ยรรยง กิรณันต์ รัตนธรรมพันธ์ |
| Other author: | จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิทยาศาสตร์ |
| Advisor's Email: | paosawat@sc.chula.ac.th Kiranant.R@Chula.ac.th, kiranant@hotmail.com |
| Subjects: | ฟิล์มบาง พลาสมา กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกน รามานสเปกโทรสโกปี |
| Issue Date: | 2546 |
| Publisher: | จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย |
| Abstract: | งานวิจัยนี้ได้ทำการพัฒนาระบบการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ (RF-PECVD) ควบผ่านขดลวดเหนี่ยวนำระนาบ โดยใช้เครื่องกำเนิดความถี่วิทยุที่ 13.56 MHz เป็นต้นกำลัง ก๊าซผสมระหว่างก๊าซไฮโดรเจน และก๊าซมีเทนถูกส่งเข้าสู่ระบบเพื่อเป็นตัวกลางพลาสมา เพื่อใช้ในการเคลือบฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรบนแผ่นรองรับ ได้แก่ อะลูมิเนียม และกระจกสไลด์ เมื่อกระบวนการสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรเสร็จสิ้น ฟิล์มที่ได้นำไปวิเคราะห์ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกวาดและการวิเคราะห์โครงสร้างของฟิล์มด้วยวิธีรามานสเปกโทรสโกปี |
| Other Abstract: | In this research, a planar coil inductively coupled radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (RF-PECVD) system is developed. A 13.56 MHz. RF generator is utilized as a power source of the system. The mixture of Hydrogen and Methane is used in the system as plasma media. Diamond-like carbon (DLC) thin films are deposited onto aluminum and glass slide substrates under various growth conditions. The DLC thin films are analyzed by Scanning Electron Microscopy (SEM) and Raman Spectroscopy. |
| Description: | วิทยานิพนธ์ (วท.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2546 |
| Degree Name: | วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต |
| Degree Level: | ปริญญาโท |
| Degree Discipline: | ฟิสิกส์ |
| URI: | http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/5730 |
| ISBN: | 9741737262 |
| Type: | Thesis |
| Appears in Collections: | Sci - Theses |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Sujira.pdf | 1.29 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.