ลักษณะเฉพาะของอาร์กอนโกลว์ดิสชาร์จพลาสมาผลิตโดยใช้แหล่งไฟฟ้ากระแสสลับความถี่ต่ำ

วัชรพล คงพิบูลย์กิจ

Please use this identifier to cite or link to this item: https://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/50048

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	รัฐชาติ มงคลนาวิน	en_US
dc.contributor.author	วัชรพล คงพิบูลย์กิจ	en_US
dc.contributor.other	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิทยาศาสตร์	en_US
dc.date.accessioned	2016-11-30T05:41:51Z	-
dc.date.available	2016-11-30T05:41:51Z	-
dc.date.issued	2558	en_US
dc.identifier.uri	http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/50048	-
dc.description	วิทยานิพนธ์ (วท.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2558	en_US
dc.description.abstract	สมบัติของพลาสมาอาร์กอนโกลว์ดิสชาร์จผลิตที่ความดันต่างๆถูกวัดและนำเสนอในงานวิจัยนี้ พลาสมาอาร์กอนสร้างจากแผ่นตัวนำคู่ขนานซึ่งแหล่งกำเนิดพลาสมาคือแหล่งกำเนิดไฟฟ้ากระแสสลับ แหล่งกำเนิดไฟฟ้าสามารถผลิตความต่างศักย์ไฟฟ้าสูงที่ปรับความถี่ไฟฟ้าค่าต่างๆโดยระบบสามารถสร้างสนามไฟฟ้าระหว่างแผ่นโลหะคู่ขนาน ลักษณะเฉพาะของพลาสมาถูกวัดด้วยอุปกรณ์วัดทางแสง ซึ่งอุณหภูมิของอิเล็กตรอนสามารถหาได้จากระเบียบวิธีอัตราส่วนความเข้มแสงและวิธีการทางกราฟด้วยสมการโบลต์ซมันน์ ส่วนความหนาแน่นจำนวนอิเล็กตรอนสามารถหาได้จากสมการของซาฮา-โบลต์ซมันน์ ผลที่ได้แสดงค่าจำนวนความหนาแน่นจำนวนอิเล็กตรอนในช่วง 1015 - 1017 ตัวต่อลูกบาศก์เมตร ขณะที่อุณหภูมิของอิเล็กตรอนอยู่ในช่วง 1.00 - 1.50 อิเล็กตรอนโวลต์สำหรับสัญญาณสามเหลี่ยมในการปรับความถี่ในช่วง 500 - 8,000 เฮิรตซ์ ผลที่ได้มีค่าในช่วงที่ยอมรับได้เหมือนกับงานวิจัยก่อนหน้านี้	en_US
dc.description.abstractalternative	Properties of plasma argon glow discharge operating with various operating pressure are measured and presented in this work. The argon plasma is produced by a parallel conducting electrodes coupling with high voltage AC power supply. The power supply can generate high AC voltage at various frequencies. The frequencies for the operation are in the range of a few kHz. The system is capable of generating electric field between the two metal electrodes discharge system. The characteristics of the plasma produced are measured by optical emission spectroscopy (OES) technique where electron temperature (kBTe) can be determined by line intensity ratio method and the Boltzmann graph. The value of electron number density (ne) is then determined from Saha-Boltzmann equation. Our results show that the electron number density of the discharge obtained is of the order of 1015 - 1017 m-3 where the electron temperature is between 1.00 - 1.50 eV for triangle signal various operating frequencies between 500 - 8,000 Hz used which are in good agreement with similar results published earlier.	en_US
dc.language.iso	th	en_US
dc.publisher	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย	en_US
dc.rights	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย	en_US
dc.title	ลักษณะเฉพาะของอาร์กอนโกลว์ดิสชาร์จพลาสมาผลิตโดยใช้แหล่งไฟฟ้ากระแสสลับความถี่ต่ำ	en_US
dc.title.alternative	CHARACTERISTICS OF ARGON GLOW DISCHARGE PLASMA PRODUCED BY AC POWER SUPPLIES OPERATING AT LOW FREQUENCY	en_US
dc.type	Thesis	en_US
dc.degree.name	วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต	en_US
dc.degree.level	ปริญญาโท	en_US
dc.degree.discipline	ฟิสิกส์	en_US
dc.degree.grantor	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย	en_US
dc.email.advisor	Rattachat.M@Chula.ac.th,rmongkolnavin@gmail.com	en_US
Appears in Collections:	Sci - Theses

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
5672083923.pdf		4.82 MB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record