การเตรียมฟิล์มบางโดยวิธีดีซีแมกนิตรอนสปัตเตอริง

Please use this identifier to cite or link to this item: https://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/35465

Title:	การเตรียมฟิล์มบางโดยวิธีดีซีแมกนิตรอนสปัตเตอริง
Other Titles:	Preparation of thin films by DC magnetron sputtering
Authors:	ธนูสิทธิ์ บุรินทร์ประโคน
Advisors:	ขจรยศ อยู่ดี
Other author:	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. บัณฑิตวิทยาลัย
Issue Date:	2538
Publisher:	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย
Description:	วิทยานิพนธ์ (วท.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2538
Degree Name:	วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต
Degree Level:	ปริญญาโท
Degree Discipline:	ฟิสิกส์
URI:	http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/35465
ISBN:	9746319345
Type:	Thesis
Appears in Collections:	Grad - Theses

Files in This Item:

File	Size	Format
Thanusit_bu_front.pdf	1.44 MB	Adobe PDF	View/Open
Thanusit_bu_ch1.pdf	436.16 kB	Adobe PDF	View/Open
Thanusit_bu_ch2.pdf	2.81 MB	Adobe PDF	View/Open
Thanusit_bu_ch3.pdf	2.79 MB	Adobe PDF	View/Open
Thanusit_bu_ch4.pdf	1.73 MB	Adobe PDF	View/Open
Thanusit_bu_ch5.pdf	4.17 MB	Adobe PDF	View/Open
Thanusit_bu_ch6.pdf	488.67 kB	Adobe PDF	View/Open
Thanusit_bu_back.pdf	1.36 MB	Adobe PDF	View/Open