Please use this identifier to cite or link to this item: https://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/37227
Title: การปลูกและวัดลักษณะสมบัติของอินเดียมอาร์เซไนด์ควอนตัมคอตที่ซ้อนทับกันบนแผ่นฐานลายตาราง
Other Titles: Growth and characterization of stacked InAs quantum dots on cross-hatch substrates
Authors: เฉลิมชัย ฮิมวาส
Advisors: ทรงพล กาญจนชูชัย
Other author: จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิศวกรรมศาสตร์
Advisor's Email: Songphol.K@chula.ac.th
Subjects: การปลูกผลึกอิพิแทกซีจากลำโมเลกุล
ควอนตัมดอต
อินเดียมอาร์เซไนด์
Molecular beam epitaxy
Quantum dots
Indium arsenide
Issue Date: 2554
Publisher: จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย
Abstract: นำเสนอการปลูกควอนตัมดอต InAs บนแผ่นฐานลายตาราง InGaAs หนึ่งชั้นและหลายชั้น ด้วยระบบเอพิแทกซีแบบลำโมเลกุล (MBE) ชิ้นงาน as-grown ถูกศึกษาลักษณะด้วยกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม (AFM) และการทดลองโฟโตลูมิเนสเซนส์ (PL) ที่อุณหภูมิต่ำ ชิ้นงานยังถูกอบแบบ in situ และ ex situ และวัดสมบัติทางแสง ความเข้าใจสัณฐานวิทยาพื้นผิวสามารถใช้อธิบายสมบัติทางแสงได้ นอกจากนั้นควอนตัมดอตที่ซ้อนทับกันหลายขั้นอาจปรับปรุงสมบัติทางแสงเนื่องจากการเพิ่มพาหะในโครงสร้าง หรืออาจขยายช่วงการเปล่งแสงจากการรวมกันของการเปล่งแสงแต่ละช่วง ควอนตัมดอต InAs บนลายตาราง InGaAs แสดงการเปล่งแสงจากหลายค่ายอด ประกอบด้วย 5 สถานะพื้นดังนี้ ควอนตัมดอตในทิศ [1-10] และ [110], WL ทั้งสองตำแหน่ง และลายตาราง หลังจากอบ in situ ด้วยอุณหภูมิ 700°C พบว่าการเปล่งแสงลดลงอย่างรวดเร็วจากลายตารางที่เสื่อมสภาพลง อุณหภูมิดังกล่าวจึงใช้เป็นขีดจำกัดบนของอุณหภูมิสำหรับการปลูกชั้น overlayer การอบ ex sity โดยผ่านไฮโดรเจนที่อุณหภูมิต่ำที่ 350°C ทำให้การเปล่งแสงโดยรวมดีขึ้น โดยเฉพาะ WL ที่พลังงานสูงมีสเปกตรัมการเปล่งแสงแคบลงพร้อมกับเกิด blueshift เนื่องจากพันธะไฮโดรเจนรักษาจุดบกพร่องและปลดปล่อยความเครียดบางส่วน ควอนตัมดอต InAs บนลายตารางสองชั้นถูกปลูกด้วยสัดส่วนโมลของ In ที่ต่างกันในแต่ละขั้นเพื่อศึกษาผลการเปล่งแสงโดย PL ผลการทดลองชี้ให้เห็นว่าชิ้นงานเปล่งแสงจากชั้นบนเท่านั้น ในขณะที่การเปล่งแสงจากชั้นล่าง (ถ้ามี) จะถูกดูดกลืนโดยชั้นลายตารางที่คั่นกลาง การเปล่งแสงจากควอนตัมดอต InAs บนลายตารางหลายชั้นจึงไม่ทำให้ผลการเปล่งแสงดีไปกว่าโครงสร้างควอนตัมดอต InAs บนลายตารางหนึ่งชั้น ในทางตรงกันข้าม โครงสร้างที่เป็นควอนตัมดอตหลายชั้นบนลายตารางโดยมี GaAs บางๆ (20 nm) คั่นกลางระหว่างควอนตัมดอตให้ผลโพลาไรเซชันที่ดีขึ้น อย่างไรก็ตาม DOP กลับลดลงเมื่อปลูกควอนตัมดอตหลายชั้นเกินไป DOP ที่มากขึ้นเนื่องจากการเปล่งแสงที่ควบคู่กันของควอนตัมดอต ขณะที่การเปล่งแสงที่ลดลงของโครงสร้างที่มีควอนตัมดอตหลายชั้นเกินไปเกิดจากการเสื่อมสภาพของวัสดุ
Other Abstract: This thesis reports the growth of single- and multi-stack InAs quantum dots (QDs) on InGaAs cross-hatch patterns (CHPs) by molecular beam epitaxy (MBE). As-grown samples are characterized by atomic force mircroscopy (AFM) and low-temperature (20 K) photoluminescence (PL). The samples are also subject to in sity and ex sity annealings. The understanding of surface morphology can be used to describe the optical properties. Furthermore, the stacked InAs QDs may improve the optical response due to increased carriers in the structure or enhance the spectral range due to the combination of individual spectrum. InAs QDs on InGaAs CHPs exhibit rich optical features which comprise as many as five ground-state emissions from [1-10]-and [110]-aligned QDs, two wetting layers (WLs), and the CHPs. When subject to high-temperature in sity annealing at 700°C, the PL signals rapidly degrade due to the deterioration of the CHPs which sets the upper limit of overlayer growth temperature. Ex-sity hydrogen annealing at a much lower temperature of 350°C, however, results in an overall PL intensity increase with a significant narrowing and a small blueshift of the high-energy WL emission due to hydrogen bonding which neutralizes defects and relieves associated strains. Stacked InAs QDs/CHPs with two different in molar fractions were grown and characterized by PL. The results indicate that emissions arise only from the uppermost stack, while those from the lower stack, if any, is likely reabsorbed by the intermediate CHP layer, rendering the structure ineffective at improving the optical properties of a single QDs/CHP stack. On the contrary, stacking InAs QDs on CHPs improving the optical properties of a single QDs/CHP stack. On the contrary, stacking InAs QDs on CHPs using a thin (20 nm) GaAs spacer between adjacent QD stacks proves to be useful at increasing the polarization of the PL spectral. The degree of polarization however degrades if the number of stacks is too high. The improvement is due to effective coupling among aligned QDs while the degradation at high stack number is due to material deterioration.
Description: วิทยานิพนธ์ (วศ.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2554
Degree Name: วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต
Degree Level: ปริญญาโท
Degree Discipline: วิศวกรรมไฟฟ้า
URI: http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/37227
URI: http://doi.org/10.14457/CU.the.2011.774
metadata.dc.identifier.DOI: 10.14457/CU.the.2011.774
Type: Thesis
Appears in Collections:Eng - Theses

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
chalermchai_hi.pdf4.87 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.